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Proceedings of the Korean Ceranic Society Conference
(한국세라믹학회:학술대회논문집)
2000.10a
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Pages.69.1-69
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2000
The Korean Ceramic Society (한국세라믹학회)
The Effect of CMP Slurry on Electrical Properties of Langasite (
$La_3Ga_5SiO_{14}$
)
CMP 가공시 슬러리가
$La_3Ga_5SiO_{14}$
의 전기적 특성에 미치는 영향
Yun, In-Ho
;
Jang, Yeong-Il
;
Im, Dae-Sun
윤인호
(고려대학교 재료금속공학부, 세라믹 공정연구센터 (CPRC)) ;
장영일
(고려대학교 재료금속공학부, 세라믹 공정연구센터 (CPRC)) ;
임대순
(고려대학교 재료금속공학부, 세라믹 공정연구센터 (CPRC))
Published : 2000.10.20
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