Growth Characteristics of PZT thin films by MOCVD using Ultrasonic Nebulization

초음파분무 MOCVD법에 의한 PZT 박막의 성장특성

  • 신호식 (계명대학교 재료공학과) ;
  • 이춘호 (계명대학교 재료공학과)
  • Published : 2000.10.20