Pt/Ti/Si 기판 위에 증착된 $(Ba,Sr)TiO_3$ 박막의 유전 및 초전특성에 대한 $TiO_2$삽입층의 영향

Effects of $TiO_2$ Interlayer on the Dielectric and Pyroelectric properties of $(Ba,Sr)TiO_3$ Thin Films Deposited in Pr/Ti/Si

  • 이상돈 (울산대학교 재료금속공학부) ;
  • 김영수 (울산대학교 재료금속공학부) ;
  • 이재신 (울산대학교 재료금속공학부)
  • 발행 : 2000.04.21