Mechanism of La modified $Bi_4Ti_3O_{12}$ thin film deposited by metalorganic chemical vapor deposition on Si substrate

유기금속 화학증착법에 의한 La이 첨가된 $Bi_4Ti_3O_{12}$ 박막의 실리콘 위에서의 증착기구

  • 김준형 (서울대학교 공과대학 재료공학부) ;
  • 이석규 (서울대학교 공과대학 재료공학부) ;
  • 엄명윤 (서울대학교 공과대학 재료공학부) ;
  • 김윤해 (서울대학교 공과대학 재료공학부) ;
  • 김형준 (서울대학교 공과대학 재료공학부)
  • Published : 2000.04.21