Proceedings of the Korean Ceranic Society Conference (한국세라믹학회:학술대회논문집)

The Korean Ceramic Society (한국세라믹학회)
권호 표지

Ce$_{1-x}Y_xO_{2-y}$ Thin Films Growth by RF Magnetron Sputtering

RF Magneton sputtering을 이용한$Ce_{1-x}Y_xO_{2-y}$ 박막성장

  • 주성민 (국립경상대학교 첨단소재연구소) ;
  • 김철진 (국립경상대학교 첨단소재연구소) ;
  • 정준기 (국립경상대학교 첨단소재연구소) ;
  • 이상희 (국립경상대학교 첨단소재연구소)
  • Published : 2000.04.21
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Abstract

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