Proceedings of the Korean Ceranic Society Conference (한국세라믹학회:학술대회논문집)

The Korean Ceramic Society (한국세라믹학회)
권호 표지

Annealing effect of a-SiC:H thin films deposited by PECVD

PECVD법에 의해 증착된 a-SiC:H 박막의 annealing 효과

  • 김용탁 (성균관대학교 금속 재료공학부) ;
  • 박문기 (성균관대학교 전기 전자 컴퓨터공학부) ;
  • 홍병유 (성균관대학교 전기 전자 컴퓨터공학부) ;
  • 윤대호 (성균관대학교 금속 재료공학부)
  • Published : 2000.04.21
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