Proceedings of the Korean Ceranic Society Conference (한국세라믹학회:학술대회논문집)
- 2000.04a
- /
- Pages.38.1-38.1
- /
- 2000
Growth Characteristics of yttria stabilized zirconia thin films by Metal-Organic Chemical Vapor Deposition using Ultrasonic nebulization
초음파분무 MOCVD을 이용한 이트리아 안정화 지르코니아 박막의 성장 특성
Abstract
Keywords