한국전기전자재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference)
- 한국전기전자재료학회 2000년도 춘계학술대회 논문집 전자세라믹스 센서 및 박막재료 반도체재료 일렉트렛트 및 응용기술
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- Pages.56-59
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- 2000
Pb 함량에 따른 PZT 박막의 식각 및 유전특성에 관한 연구
A study on the Etching and Dielectric Properties of PZT Thin Films with Excess Pb Contents
- 발행 : 2000.04.28
초록
In this study, Ferroelectric