Annual Conference of KIPS (한국정보처리학회:학술대회논문집)

  • 2000.10a
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  • Pages.703-706
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  • 2000
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  • 2005-0011(pISSN)
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  • 2671-7298(eISSN)
Korea Information Processing Society (한국정보처리학회)
권호 표지

Dynamic Layout Design of Spinner MMI for 300mm Wafer

300mm 웨이퍼용 Spinner MMI를 위한 동적 레이아웃 설계

  • 윤영호 (호서대학교 컴퓨터공학과) ;
  • 한광록 (호서대학교 컴퓨터공학과) ;
  • 손석원 (호서대학교 컴퓨터공학과)
  • Published : 2000.10.13
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Abstract

반도체 제조 공정의 효율적인 제어와 감시를 위한 모니터링 시스템을 구성하기 위해서는 장비가 가진 특성과 시스템 환경에서 요구되는 조건들과 동작 상태 둥을 사용자 인터페이스를 통하여 한 눈에 감시할 수 있는 화면 레이아웃이 요구된다. 본 논문에서는 차세대 반도체 장비인 300mm 웨이퍼 가공용 Spinner 의 MMI 개발을 목표로 하여 장비의 구성 요소들의 선택적 접속에 따라서 사용자 인터페이스용 레이아웃을 능동적으로 설계하는 방법에 대하여 기술하였다. 장비를 구성하는 기본 요소들간의 관계를 정의하고, 장비의 사양과 웨이퍼의 가공 목적에 따라 구성 요소들을 자동으로 유연성있게 배치하도록 하였다.

Keywords