Analysis of Interface Layer by FE-(S)TEM in the Ti/Al Structure
Ti/Al 구조에서 FE-(S)TEM을 이용한 계면반응층의 평가
- Yang Jun-Mo ;
- Choe Jin-Tae ;
- Seong Hae-Suk ;
- Park Tae-Su ;
- Lee Tae-Gwon ;
- Baek Tae-Seon ;
- Park Ju-Cheol ;
- Lee Sun-Yeong ;
- Lee Seok-Jae
- 양준모 (현대전자 메모리(연) 분석개발팀) ;
- 최진태 (현대전자 메모리(연) 분석개발팀) ;
- 성해숙 (현대전자 메모리(연) 분석개발팀) ;
- 박태수 (현대전자 메모리(연) 분석개발팀) ;
- 이태권 (현대전자 메모리(연) 분석개발팀) ;
- 백태선 (현대전자 메모리(연) 분석개발팀) ;
- 박주철 (현대전자 메모리(연) 분석개발팀) ;
- 이순영 (현대전자 메모리(연) 분석개발팀) ;
- 이석재 (현대전자 메모리(연) 선행공정5팀)
- Published : 2000.11.01
Abstract
Keywords