Proceedings of the Optical Society of Korea Conference (한국광학회:학술대회논문집)
- 2000.08a
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- Pages.56-57
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- 2000
LASER를 이용한 CRT shadow mask의 진동 및 열변형 측정 시스템 개발
Abstract
본 연구에서는 반도체 레이저로부터 조사되는 빔을 CRT 모니터의 shadow mask에 입사시켜 반사되는 빔을 렌즈를 통하여 센서로 사용한 위치검출소자(PSD)와 CCD에 확대 결상시켜 측정하였다. 센서로 사용한 PSD는 검출영역이 12mm, 위치분해능은 0.2um이며, 센서의 검출면상에서의 입사빔의 위치에 따라 매우 선형적인 특성을 가지며, 실시간적으로 처리할 수 있다는 장점을 갖고 있다. CCD는 1/3inch(512
Keywords