Measurement of Laser Diode Intensity Profile using NSOM

근접장 주사현미경을 이용한 레이저 다이오드의 출력광 세기분포 측정

  • 박남기 (국가지정 홀로그래피 기술연구실, 서울대학교 전기공학부) ;
  • 김경염 (국가지정 홀로그래피 기술연구실, 서울대학교 전기공학) ;
  • 이병호 (국가지정 홀로그래피 기술연구실, 서울대학교 전기공학부)
  • Published : 2000.02.01

Abstract

Edge emitting 레이저 다이오드의 전형적인 모양은 그림 1과 같다. 반도체 레이저는 다른 종류의 레이저에 비하여 체적이 매우 작으며 제조 단가가 저렴하고 대량생산이 용이할 뿐 아니라 수 mA의 전류만 흘리면 레이저가 되는 이점이 있으므로 광통신용 응용 외에도 바코드 리더, 비디오 디스크, 오디오 디스크, 레이저 프린터, 포인터 등에 폭넓게 이용된다. 하지만 다른 레이저들에 비하여 발산각이 큰 편인데 p-n 접합에 나란한 방향과 수직인 방향의 발산각은 각각 λ/w와 λ/l 로 타원모양을 갖게 된다$^{(1)}$ . LD의 발광 부분은 폭이 작으므로 일정한 높이에서 정확한 세기분포를 측정하기 위하여 그림 2와 같이 본 연구실에서 제작한 NSOM (Near-filed Scanning Optical Microscope) 구조를 이용한다$^{(2)}$ . (중략)

Keywords