나노초 레이저 어블레이션에 의한 실리콘의 폭발적 보일링 현상 및 입자발생

Phase explosion and particle generation phenomena during high power nanosecond laser ablation of silicon

  • 정성호 (광주과학기술원 기전공학과) ;
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  • J. H. Yoo (University of California at Berkeley) ;
  • R. Greif (University of California at Berkeley) ;
  • R. E. Russo (Lawrence Berkeley National Laboratory)
  • 발행 : 2000.11.01

초록

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