Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)
- 2000.05a
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- Pages.47-48
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- 2000
A Study on the c-axis orientation of ZnO Thin Film at a various inter target distance
타겟간 거리 변화에 따른 ZnO 박막의 c-축 배향성에 관한 연구
Abstract
Keywords