The Development of a System for Diagnosis and Fault Detection of Semiconductor Manufacturing Processes

반도체 제조 공정의 진단 및 고장 예측 시스템 개발

반도체 제조 공정의 진단 및 고장 예측 시스템을 개발하기 위해 PCA(Principal Component Analysis) 기법을 적용하여 데이터 분석을 하고자 하며, 이에 대한 이론적인 연구와 연구 수행 절차를 구체적으로 정립하였다. 비쥬얼 C++에서 MATLAB과 PLS_Toolbox 등을 연동하여 직관적이고 시각적이며 사용자가 효율적으로 공정 현장에 적용할 수 있는 시스템을 개발하고자 한다. 지금까지 PCA와 관련한 다양한 문헌 조사를 수행하였고, 이론적인 연구를 하였다. 비쥬얼 C++ 프로그램에서 MATLAB과 PLS_Toolbox 등을 연동하기 위해 필요한 환경 선정 등을 완료하였으며, 초기 단계의 간단한 모듈들을 개발하였다. 다음 단계의 모듈들은 좀 더 빠른 시간에 개발할 수 있을 것으로 기대한다. 이를 공정 현장에서 수집한 다양한 데이터에 적용하여 그 결과를 피드백하여 시스템을 수정하고 보완하고자 하며, 마지막으로 현장에 적용하고자 한다.