단결정 성장을 위한 자동 가스 조절용 전동밸브 개발

  • 송용화 (청운대학교 전자공학과) ;
  • 조현섭 (청운대학교 전자공학과) ;
  • 조용민 (청운대학교 전자공학과) ;
  • 민병조 (청운대학교 전자공학과)
  • Published : 2000.04.01

Abstract

Keywords