반도체 클린룸용 세라믹 Rotor 제습제 개발

  • 서동남 (한서대학교 재료공학과 무기재료 공정연구소) ;
  • 정미정 (㈜ 신성 ENG. 기술연구소) ;
  • 문인호 (㈜ 신성 ENG. 기술연구소) ;
  • 조상준 (한서대학교 재료공학과 무기재료 공정연구소) ;
  • 김익진 (한서대학교 재료공학과 무기재료 공정연구소)
  • 발행 : 2000.04.01

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