대한전자공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the IEEK Conference)
- 대한전자공학회 2000년도 하계종합학술대회 논문집(2)
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- Pages.294-297
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- 2000
화학 기상 증착법으로 저온 증착한 보론 포스파이드의 특성에 관한 연구
A Study on Characteristics of Boron Phosphide Deposited at Low Temperature Using CVD Method
초록
Boron Phosphide films were deposited on the glass substrate at low temperature, 550
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