대한전자공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the IEEK Conference)
- 대한전자공학회 2000년도 하계종합학술대회 논문집(2)
- /
- Pages.64-67
- /
- 2000
금속-산화막-반도체 소자에서 대체 게이트 금속인 텅스텐 실리사이드의 특성 분석
Tungsten Silicide ($WSi_2$ ) for Alternate Gate Metal in Metal-Oxide-Semiconductor (MOS) Devices
초록
Tungsten silicide(WSi
키워드