대한전자공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the IEEK Conference)
- 대한전자공학회 2000년도 하계종합학술대회 논문집(2)
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- Pages.20-23
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- 2000
차세대 sub-0.1$\mu\textrm{m}$ 급 MOSFET소자용 고유전율 게이트 박막
High-k Gate Dielectric for sub-0.1$\mu\textrm{m}$ MOSFET
초록
We have investigated a process for the preparation of high-quality tantalum oxynitride (
키워드