FeTaN/M(M=Ti,Ni,Cr, and Co) bi-layer 필름에서의 필름응력과 자기특성과의 관계에 대한 연구

A study on the relation between magnetic properties and film stresses of FeTaN/M(M=Ti,Ni,Cr, and Co) bi-layer films

  • 발행 : 2000.05.01