Proceedings of the International Microelectronics And Packaging Society Conference (한국마이크로전자및패키징학회:학술대회논문집)

2000.11a
/
Pages.31-34
/
2000

The Korean Microelectronics and Packaging Society (한국마이크로전자및패키징학회)

권호 표지

Deposition of SiCxNy thin film as a X-ray mask membrane for LIGA using ECR plasma CVD

ECR Plasma CVD를 이용한 LIGA용 X-ray mask membrane SiCxNy 박막의 증착

박창모 (한양대학교 재료공학과) ;
전진남 (한양대학교 재료공학과) ;
이태호 (한양대학교 재료공학과) ;
이승윤 (한양대학교 재료공학과) ;
안진호 (한양대학교 재료공학과)

Published : 2000.11.01

PDF

⟨ Previous Next ⟩

Abstract

Keywords