한국전기전자재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference)
- 한국전기전자재료학회 2000년도 하계학술대회 논문집
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- Pages.471-474
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- 2000
스파터링법에 의해 제작된 $WO_3$ 박막을 이용한 마이크로 가스센서에 관한 연구
A Study on Micro Gas Sensor Utilizing $WO_3$ Thin Film Fabricated by Sputtering Method
초록
A flat type microgas sensor was fabricated on the p-type silicon wafer with low stress S