한국전기전자재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference)
- 한국전기전자재료학회 2000년도 하계학술대회 논문집
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- Pages.51-54
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- 2000
RF magnetron sputtering을 이용한 ($Ba_{0.5}Sr_{0.5})TiO_3$ 박막의 RF power 의 존성
Dependence of RF power of ($Ba_{0.5}Sr_{0.5})TiO_3$ thin film using RF magnetron sputtering
초록
In this paper,