한국재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference)

한국재료학회 (Materials Research Society of Korea)
권호 표지

반응성 스퍼터링 조건에 따른$ Al_2O_3$박막의 유전특성 및 누설전류 특성

Dielectric and Leakage Current Characteristics of $ Al_2O_3$ Thin Films with Variation of the Reactive Sputtering Condition

  • 발행 : 2000.11.01
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