Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)
- 2000.11a
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- Pages.119-119
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- 2000
A Study on Effect of Latent Heat on the Crystallization Behavior of Amorphous Silicon Using Rapid Thermal Annealing
급속 열처리에 의한 a-Si 결정화시 잠열의 영향에 대한 연구
Abstract
Keywords