Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

Optical Properties of GaN Films Etched in Inductively Coupled Plasmas

GaN 박막의 ICP 식각후의 광특성

  • 한윤봉 (전북대학교 화학공학부, 반도체물선연구센터) ;
  • 최창선 (전북대학교 화학공학부, 반도체물선연구센터) ;
  • 임연호 (전북대학교 화학공학부, 반도체물선연구센터) ;
  • 박진수 (전북대학교 화학공학부, 반도체물선연구센터) ;
  • 최락준 (전북대학교 화학공학부, 반도체물선연구센터) ;
  • 이형재 (전북대학교 화학공학부, 반도체물선연구센터)
  • Published : 2000.11.01
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Abstract

Keywords