수율 향상을 위한 4H-SiC 쇼키 접합 및 소자 제작공정기술 연구

The Study of Fabrication Processing and Schottky Contact to 4H-SiC for Improving the Yield

  • 강수창 (명지대학교 세라믹공학과) ;
  • 신무환 (명지대학교 세라믹공학과)
  • 발행 : 2000.11.01