Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

Inductively Coupled Plasma Etching of $SrBi_2Ta_2O_9$ Thin Films

$SrBi_2Ta_2O_9$ 박막의 ICP 식각 특성

  • 한윤봉 (전북대학교 화학공학부, 반도체물성연구센터) ;
  • 박진수 (전북대학교 화학공학부, 반도체물성연구센터) ;
  • 임연호 (전북대학교 화학공학부, 반도체물성연구센터) ;
  • 최창선 (전북대학교 화학공학부, 반도체물성연구센터) ;
  • 최락준 (전북대학교 화학공학부, 반도체물성연구센터) ;
  • 이시형 (KIST 박막기술연구센터) ;
  • 이전국 (KIST 박막기술연구센터)
  • Published : 2000.11.01
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Abstract

Keywords