한국재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference)

한국재료학회 (Materials Research Society of Korea)
권호 표지

RIB 처리된 사파이어 기판을 이용하여 MOCVD로 성장시킨 GaN의 열처리 효과

POSTANNEALING EFFECT OF GaN ON REACTIVE ION BEAM PRETREATED SAPPHIRE

  • 이상진 (고려대학교 재료공학과) ;
  • 변동진 (고려대학교 재료공학과) ;
  • 홍창희 (전북대학교 반도체 물성연구센터) ;
  • 김긍호 (한국과학기술연구원)
  • 발행 : 2000.11.01
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