TiN을 코팅한 실리콘 팁 어레이의 전자 방출 특성

Emission Properties of TiN coated Si Field Emitter Array

  • 한병욱 (한국과학기술원 재료공학과) ;
  • 안병태 (한국과학기술원 재료공학과)
  • 발행 : 2000.11.01