한국재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference)

한국재료학회 (Materials Research Society of Korea)
권호 표지

TFT/LCD 공정적용을 위한 저저항 Cu-alloy 배선 연구

A study of Cu-alloy films for application to TFT/LCD

  • 조범석 (국민대학교 금속재료공학부) ;
  • 강봉주 (국민대학교 금속재료공학부) ;
  • 이원희 (국민대학교 금속재료공학부) ;
  • 이재갑 (국민대학교 금속재료공학부) ;
  • 우인근 (경희대학교 물리학과) ;
  • 장진 (경희대학교 물리학과)
  • 발행 : 2000.11.01
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