Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)
- 2000.11a
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- Pages.62-62
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- 2000
A study on the formation of Au nano-particles by using DC magnetron sputtering for the single electron device
DC 마그네트론 스퍼터링을 이용한 단일 전자 소자용 금 나노 입자의 형성에 관한 연구
Abstract
Keywords