한국재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference)

한국재료학회 (Materials Research Society of Korea)
권호 표지

Gate Dielectric을 위한 Zrconium-Silicate에 관한 특성 연구

A Study of Properties for Zrconium-Silicate Gate Dielectric

  • 김태호 (국민대학교 금속재료공학부) ;
  • 민형섭 (국민대학교 금속재료공학부) ;
  • 구준모 (국민대학교 금속재료공학부) ;
  • 김지영 (국민대학교 금속재료공학부)
  • 발행 : 2000.11.01
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