한국재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference)

한국재료학회 (Materials Research Society of Korea)
권호 표지

가압전압 및 용액특성에 따르는 6H-SiC의 습식식각특성

Effects of voltage and solution on 6H-SiC wet etching

  • 송정균 (명지대학교 세리믹공학과) ;
  • 정삼원 (명지대학교 세리믹공학과) ;
  • 신무환 (명지대학교 세리믹공학과)
  • 발행 : 2000.11.01
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