한국재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference)

한국재료학회 (Materials Research Society of Korea)
권호 표지

재생된 산화막 CMP용 슬러리의 특성에 대한 연구

The Characterization of Re-used Oxide CMP Slurry

  • 김명식 (한양대학교 금속재료공학과) ;
  • 김형준 (한양대학교 금속재료공학과) ;
  • 엄대홍 (한양대학교 금속재료공학과) ;
  • 박진구 (한양대학교 금속재료공학과) ;
  • 마석중 (현대전자 IC 연구소) ;
  • 류홍기 (뉴영소재산업)
  • 발행 : 2000.11.01
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