결정화된 PZT 박막에 행해진 이온손상처리가 강유전 특성에 미치는 영향

The Effects of Ion Damage on the Crystallized PZT Thin Films

  • 윤종인 (서울대학교 재료공학부) ;
  • 이장식 (서울대학교 재료공학부) ;
  • 박정호 (서울대학교 재료공학부) ;
  • 주승기 (서울대학교 재료공학부)
  • 발행 : 2000.11.01