Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

Effect of Sr/Ta Ratio on the Ferroelectric Properties of SBT Thin Films Fabricated by LSMCD Process

LSMCD 공정으로 제조한 SBT 박막의 Sr/Ta 함량에 따른 강유전 특성

  • 김지웅 (홍익대학교 금속·재료공학과) ;
  • 박주동 (홍익대학교 금속·재료공학과) ;
  • 오태성 (홍익대학교 금속·재료공학과)
  • Published : 2000.02.01
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Abstract

Keywords