Proceedings of the KIEE Conference (대한전기학회:학술대회논문집)
- 2000.07c
- /
- Pages.2251-2253
- /
- 2000
Fabrication and Characteristics of ZnO/In Micro-sensor for detecting $NH_3$ gas
$NH_3$ 가스 감지용 ZnO/In 마이크로센서의 제작 및 특성
- Kim, Gwon-Tae (Dept. of Electronic Materials Eng. & Research Institute of Industrial Technology Gyeongsang Nat'l Univ.) ;
- Lee, Yong-Sung (Space Technologies Co. Ltd.) ;
- Kim, Dae-Hyun (Space Technologies Co. Ltd.) ;
- Park, Hyo-Derk (Korea Electronics Technology Institute) ;
- Jeon, Choon-Bae (Dept of Electronic Eng. Yonam College of Eng.) ;
- Ma, Tae-Young (Dept. of Electronic Materials Eng. & Research Institute of Industrial Technology Gyeongsang Nat'l Univ.) ;
- Park, Ki-Cheol (Dept. of Electronic Materials Eng. & Research Institute of Industrial Technology Gyeongsang Nat'l Univ.)
- 김권태 (경상대학교 전자재료공학과 및 생산기술연구소) ;
- 이용성 (스페이스테크놀로지(주)) ;
- 김대현 (스페이스테크놀로지(주)) ;
- 박효덕 (한국전자부품연구원) ;
- 전춘배 (연암공업대학 전자과) ;
- 마대영 (경상대학교 전자재료공학과 및 생산기술연구소) ;
- 박기철 (경상대학교 전자재료공학과 및 생산기술연구소)
- Published : 2000.07.17
Abstract
MEMS기술을 이용하여 단층 실리콘 나이트라이드(
Keywords