Proceedings of the KIEE Conference (대한전기학회:학술대회논문집)
- 2000.07c
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- Pages.1679-1681
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- 2000
A study on the fabrication of Planar type inductor for Micro DC-DC Converter
Micro DC-DC Converter에 사용되는 박막 인덕터의 제조에 관한 연구
- Kim, Choong-Sik (Hong-Ik Univ., material and matallurgical engineering) ;
- Jeong, Jong-Han (Hong-Ik Univ., material and matallurgical engineering) ;
- Bae, Seok (Hong-Ik Univ., material and matallurgical engineering) ;
- Ruy, Sung-Ryong (Hong-Ik Univ., material and matallurgical engineering) ;
- Kim, Hyung-June (Hong-Ik Univ., material and matallurgical engineering)
- 김충식 (홍익대학교 금속재료공학과) ;
- 정종한 (홍익대학교 금속재료공학과) ;
- 배석 (홍익대학교 금속재료공학과) ;
- 류성룡 (홍익대학교 금속재료공학과) ;
- 김형준 (홍익대학교 금속재료공학과)
- Published : 2000.07.17
Abstract
휴대 전화 및 캠코더 등의 휴대기기의 보급이 급격히 확산됨에 따라 기기의 소형화와 경량화가 제품 개발의 가장 큰 과제로 떠오르게 되었다. 특히 전자기기들은 기능이 다양해질수록 필요로 하는 부품이 늘어나게 되고, 그 결과로 불가피하게 일차로 공급되는 단일 저압의 전원으로는 구동시킬 수 없는 부분이 생기게 된다. 따라서 그들 개별 소자 또는 부품들이 구동되기 위해서는 그에 필요한 전력이 공급되어야 한다. 이러한 역할을 담당하는 것이 SMPS이며 본 연구에서는 SMPS의 전원 안정화를 담당하는 인덕터의 평면화를 구현하고자 고주파 대역에서 우수한 자기적 특성 및 높은 포화 자화 값으로 소자의 load current를 증가시킬 수 있는 PeTaN 자성 박막과 전기 저항을 낮추기 위한 MEMS 기술을 응용한 높은 aspect을 지닌 Cu 코일부, 전기적 절연을 담당하는 절연막을 사용한 평면형 인덕터를 제조하였으며, 인덕터의 특성인 인덕턴스는 약 5MHz까지 1.5
Keywords