Proceedings of the KIEE Conference (대한전기학회:학술대회논문집)
- 2000.07c
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- Pages.1646-1648
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- 2000
$Y_{2}O_3$ Films as a Buffer layer for a Single Transistor Type FRAM
단일 트랜지스터용 강유전체 메모리의 Buffer layer용 $Y_{2}O_3$ 의 연구
- Jang, Bum-Sik (School of Electrical and Computer Engineering, Sungkyunkwan University) ;
- Lim, Dong-Gun (School of Electrical and Computer Engineering, Sungkyunkwan University) ;
- Choi, Suk-Won (School of Electrical and Computer Engineering, Sungkyunkwan University) ;
- Mun, Sang-Il (School of Electrical and Computer Engineering, Sungkyunkwan University) ;
- Yi, Jun-Shin (School of Electrical and Computer Engineering, Sungkyunkwan University)
- 장범식 (성균관대학교 전기전자 및 컴퓨터공학부) ;
- 임동건 (성균관대학교 전기전자 및 컴퓨터공학부) ;
- 최석원 (성균관대학교 전기전자 및 컴퓨터공학부) ;
- 문상일 (성균관대학교 전기전자 및 컴퓨터공학부) ;
- 이준신 (성균관대학교 전기전자 및 컴퓨터공학부)
- Published : 2000.07.17
Abstract
This paper investigated structural and electrical properties of
Keywords