Proceedings of the KIEE Conference (대한전기학회:학술대회논문집)
- 2000.07c
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- Pages.1477-1479
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- 2000
Characteristics of PZT thin film on the g1ass substrate
유리 기판 위에서의 PZT 박막의 특성에 관한 연구
- Ju, Pil-Yeon (Sungkyunkwan Univ.) ;
- Jeong, Kyu-Won (Sungkyunkwan Univ.) ;
- Park, Young (Sungkyunkwan Univ.) ;
- Park, Ki-Yeop (Pusan info.tech college) ;
- Song, Joon-Tae (Sungkyunkwan Univ.)
- 주필연 (성균관대학교 전기전자 및 컴퓨터공학부) ;
- 정규원 (성균관대학교 전기전자 및 컴퓨터공학부) ;
- 박영 (성균관대학교 전기전자 및 컴퓨터공학부) ;
- 박기엽 (부산정보대학) ;
- 송준태 (성균관대학교 전기전자 및 컴퓨터공학부)
- Published : 2000.07.17
Abstract
The annealing treatments on rf magnetron sputtered PZT(
Keywords