대한전기학회:학술대회논문집 (Proceedings of the KIEE Conference)

대한전기학회 (The Korean Institute of Electrical Engineers)
권호 표지

마이크로 자이로용 미소 용량 변화량 검출회로의 설계

Design of Capacitance Detector circuits for Micro-Gyroscope

  • Lee, K. (Korea Advanced Institute of Science & Technology) ;
  • Woo, S.H. (Korea Advanced Institute of Science & Technology) ;
  • Cho, G.H. (Korea Advanced Institute of Science & Technology)
  • 발행 : 2000.07.17
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초록

마이크로머시닝을 이용한 각속도 센서에서는 기계 구조체의 기준진동에 의한 캐패시턴스의 변화와 인가되는 각속도에 따른 캐패시턴스의 변화를 감지하야 한다. 이러한 캐패시턴스의 변화량을 전기적으로 감지하는데 있어서 기준진동을 위해 구조체에 인가되는 구동신호의 간섭이 최소화 되도록 구조체를 설계하여야 하고 회로적으로 간섭을 상쇄할 수 있어야 미소한 캐패시턴스의 변화량을 감지하여 각속도 센서의 감도를 극대화할 수 있다. 본 논문에서는 이러한 구동신호의 간섭을 상쇄하여 미소캐패시턴스 변화를 감지하는 회로를 설계 하였다.

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