회전체의 초음파에너지 전달에 의한 캐피러리 조도면 개선에 관한 연구

A study of Improvement of tip surface at rotator capillary using transmit effect of ultarasonic vibration energy

  • 변경원 (호서대학교 정보통신공학과) ;
  • 윤희상 (호서대학교 정보통신공학과)
  • Byun Kyoung-Won (Department of Information & Telecommunication Engineering, Hoseo University) ;
  • Youn Hee-Sang (Department of Information & Telecommunication Engineering, Hoseo University)
  • 발행 : 1999.11.06

초록

캐피러리(Capillary)는 반도체 납땜에 사용되는 헤더 부분으로써 현재까지는 강철핀에 다이아몬드를 부착하여 가공하였으나 가공정밀도에서 매우 불량하였다. 본 논문에서는 스핀들, 콜렉트, 척부분을 변경하여 초음파에너지를 가할 수 있도록 하였으며 특히, 주파수추종방법을 이용한 발진부 제어를 통해 부하단의 변화에도 대처할 수 있도록 하였으며 캐피러리(Capillary)의 가공을 최적화 하기 위해 혼과 진동자의 무게를 이용할 수 있도록 설계하였다. 본 방법을 사용하여 실험한 결과 캐피러리(Capillary) 조도면은 우수한 특성을 나타냈음을 확인했으며 현장에서 직접 사용할 수 있는 시스템을 제시하였다.

키워드