The Study of Microstructure and Electrical Properties Of $CeO_2$ Thin Films Deposited By D.C. Magnetron Sputte Upon Annealing
열처리에 따른 Reactive DC 마그네트론 스퍼터로 증착한 $CeO_2$ 박막의 미세구조와 전기적 특성 평가
- Published : 1999.11.01
Abstract
Keywords