Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Surface Engineering (한국표면공학회)
권호 표지

Characterization of microstructure of Ni-monosilicide for ULSI logic device

고집적 로직디바이스용 니켈 모노실리사이드의 미세구조 분석

  • 안영숙 (서울시립대학교 재료공학과) ;
  • 송오성 (서울시립대학교 재료공학과)
  • Published : 1999.10.01
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