Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)

1999.10a
/
Pages.73-75
/
1999

The Korean Institute of Surface Engineering (한국표면공학회)

권호 표지

The Effect of RF Induced Bias Voltage on DLC Thin Film

RF Induced Bias 전압이 DLC 박막의 특성에 미치는 영향

손영호 (포항산업과학연구원) ;
박형국 (포항산업과학연구원) ;
정재인 (포항산업과학연구원) ;
박노길 (식품의약품안전청) ;
황도원 (알파플러스) ;
김인수 (경운대학교) ;
배인호 (영남대학교)

Published : 1999.10.01

PDF

⟨ Previous Next ⟩

Abstract

Keywords