Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)

1999.10a
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Pages.70-71
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1999

The Korean Institute of Surface Engineering (한국표면공학회)

권호 표지

Effect of RE-bias on the Properties of DC Reactive Sputtered ITO Films

반응성 DC 스퍼터법으로 제조한 ITO 박막의 물성에 미치는 RE-bias의 영향

김경현 (기술표준원) ;
신성호 (기술표준원) ;
신재혁 (기술표준원) ;
박광자 (기술표준원) ;
이주성 (한양대학교)

Published : 1999.10.01

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Abstract

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