Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Surface Engineering (한국표면공학회)
권호 표지

Characteristics of Diamond Thin Film Fabricated by Helicon Plasma CVD

헬리콘 플라즈마 CVD법에 의한 다이아몬드 박막의 특성

  • 현준원 (단국대학교 응용물리학과) ;
  • 김경례 (단국대학교 응용물리학과) ;
  • 김용진 (단국대학교 응용물리학과) ;
  • 한선미 (단국대학교 응용물리학과)
  • Published : 1999.05.01
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Abstract

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