High Temperature Oxidation of $Ti_{0.3}A_{0.2}N_{0.5}$ Thin Film Deposited on a Steel Substrate by ion Plating

이온플레이팅법으로 증착된 $Ti_{0.3}A_{0.2}N_{0.5}$ 박막의 고온산화특성

  • 김미현 (성균관대학교 금속공학과) ;
  • 우지호 (성균관대학교 금속공학과) ;
  • 이동복 (성균관대학교 금속공학과)
  • Published : 1999.05.01